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Laseroptisches Oberflächenmessgerät µScan
Hochschule Mannheim Kompetenzzentrum Tribologie
Paul-Wittsack-Straße 10 / Bau K 68163 Mannheim

Tel.-Zentrale: 0621 / 292-6541
E-Mail: Tribologie@HS-Mannheim.de

Anfahrt
Laseroptisches Oberflächenmessgerät
Das optische Oberflächenmessgerät ist ein 3D-Laserprofilometer zur schnellen und hochgenauen Vermessung von relativ großen Bereichen beliebiger Oberflächen. Der ursprünglich an dem Gerät verbaute Autofokussensor wurde durch einen Lasertriangulationssensor der Firma Keyence mit deutlich höherer Auflösung ausgetauscht.
 
Der hochgenaue Positioniertisch ermöglicht ein schnelles Verfahren der Probe unter dem stillstehenden Lasermessfleck.

Momentan wird eine neue Auswertesoftware auf Basis von LabView und MatLab geschrieben, um die Funktionalitäten weiter
zu erhöhen.
 
Parameter  
Messbereich z 1,50 mm
Auflösung z 25 nm
laterale Auflösung 1 µm
Messbereich xy 100 mm x 100 mm
Messpunkt 1 µm
Grenzwinkel 30°, bei rauhen Oberflächen 50°
Geschwindigkeit max. 40 mm/s (10 kHz)
 
Detailskizze











Skizze vergrößern durch anklicken
 
 
Messmöglichkeiten
  • Linienprofile mit Formvermessung (Strecken, Höhen, Flächen)
  • Datenübernahme in Excel oder MatLab
  • Weitere Funktionalitäten werden momentan programmiert
 
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